キャノン アネルバ。 投資家情報

アネルバ株式会社の連結子会社化と社名変更について

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評価 0. 0 ピラニゲージ。 【概要】 ・大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 ・低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ・低・中真空領域の測定に最適。 【用途】 ・粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など。 ピラニゲージ(耐蝕型)。 【概要】 ・Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 【特長】 ・耐食性の向上。 ・再現性がよく低価格。 ・取付方向の制約なし。 【用途】 ・半導体、電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など。 ・食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など。 評価 0. 0 【概要】 ・大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。 ・1台で広い圧力領域を測定可能です。 【特長】 ・優れた測定安定性。 ・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減。 ・大気圧センサ、ピラニゲージ、コールドカソードゲージの1台3役。 ・システムのコストダウンや管理負荷低減に貢献。 【用途】 ・大気圧~超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応。 ・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE。 ・SEM、SIMS、AES、XPS、表面/ガス/質量分析。 ・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接。 ・加速器、サイクロトロン。 評価 0. 0 【概要】 ・トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 ・イオンゲージ(熱陰極電離真空計)は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 ・センサはミニチュアゲージ(MG-2Iタイプ)を使用しています。 【特長】 ・ワイドな圧力測定範囲。 ・10の-7乗Pa~10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能。 ・高応答アナログ出力。 ・圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能。 ・4つのエミッション電流設定モード。 ・高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能です。 ・省スペース・低消費電力。 【用途】 ・生産用真空装置の圧力測定。 ・半導体スパッタリング装置の圧力測定。 ・各種真空装置。

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評価 0. 0 ピラニゲージ。 【概要】 ・大気圧から測定できる手軽さと、高いコストパフォーマンスを併せ持つ用途の広いピラニ真空計です。 ・低・中真空領域の測定用として、各種システム搭載用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ・低・中真空領域の測定に最適。 【用途】 ・粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御など。 ピラニゲージ(耐蝕型)。 【概要】 ・Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 【特長】 ・耐食性の向上。 ・再現性がよく低価格。 ・取付方向の制約なし。 【用途】 ・半導体、電子デバイス製造装置、ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など。 ・食品・医薬品製造装置、真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など。 評価 0. 0 【概要】 ・大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。 ・1台で広い圧力領域を測定可能です。 【特長】 ・優れた測定安定性。 ・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減。 ・大気圧センサ、ピラニゲージ、コールドカソードゲージの1台3役。 ・システムのコストダウンや管理負荷低減に貢献。 【用途】 ・大気圧~超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応。 ・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE。 ・SEM、SIMS、AES、XPS、表面/ガス/質量分析。 ・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接。 ・加速器、サイクロトロン。 評価 0. 0 【概要】 ・トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 ・イオンゲージ(熱陰極電離真空計)は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 ・センサはミニチュアゲージ(MG-2Iタイプ)を使用しています。 【特長】 ・ワイドな圧力測定範囲。 ・10の-7乗Pa~10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることになく、スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能。 ・高応答アナログ出力。 ・圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、プロセス圧力コントロールにも使用可能。 ・4つのエミッション電流設定モード。 ・高圧力領域側での使用時のフィラメント寿命改善など、用途に合わせ選択が可能です。 ・省スペース・低消費電力。 【用途】 ・生産用真空装置の圧力測定。 ・半導体スパッタリング装置の圧力測定。 ・各種真空装置。

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